Series 6000 PAS Analyzer 最新光聲光頻(PAS)技術可同時量測Sub ppb等級Ammonia及HF氣體洩漏
Series 6000 PAS Analyzer
最新光聲光頻(PAS)技術可同時量測Sub ppb等級Ammonia及HF氣體洩漏
AMC Monitor (PAS Technology)
廠牌：Molecular Analysis
供應商：志尚儀器股份有限公司
聯絡電話：02-22195511
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最新光聲光頻(PAS)技術
•可同時量測Sub ppb等級
•Ammonia及HF氣體洩漏
•校正線性(R2達0.9989以上)
•Range : 0.5~10000 ppb
•符合 Semi ITRS 2015 Guide 中所建議的 AMC 分析方式
產品關鍵字：
半導體工業製程相關儀器設備；
半導體製程暨廠務分析設備；
Molecular Analysis；
氣體濃度計；
氣體偵測器；
半導體相關工安與製程分析設備；
PAS；
光聲光頻；
AMC；
高科技廠房製程與廠務分析設備；
