電子探微分析 Electron probe microanalysis

以電子槍產生電子束經磁場偏折, 其作用宛如光學中之透鏡, 變更磁埸可使 電子 束集中在試樣上掃描, 一側用顯微鏡或照像機觀察以控制掃描情況。試 樣之電 子撞擊所產生之 X射線, 經曲面晶體檢別器而記錄其波長及強度, 以 作為定性及 定量分析。